精密運動型toyo滑臺的設計要求

當前，精密加工、檢測或掃描等工業應用中對于微米級精度的直線運動型toyo滑臺，具有很大的需求。這些工業應用要求滑臺運動系統在精度穩定性、往復運動速度以及定位準確性與快速性等方面具有比較高水平。從精密加工工藝方面來看的話，精密運動型toyo滑臺應該主要滿足以以幾點基本要求：

一是精密運動型toyo滑臺必須具有三維及以上的加工能力。在三維精密運動滑臺上增加電機或運動元件即可構成多軸平臺系統,可以擴大此種類型精密運動滑臺的適用范圍。

二是精密運動型toyo滑臺必須具有高剛性，高加速度。高剛性使滑臺能夠抵抗外界的碰撞而避免產生變形，從而能夠保證滑臺的精度不受到影響，而高加速度可以體現滑臺的優良特性，提高所設計toyo滑臺的應用價值。

三是精密運動型toyo滑臺必須有較高的重復定位精度。重復定位精度是精密運動滑臺的一個非常重要的精度指標，它受多種因素影響，包括系統特性、系統存在的間隙以及系統的摩擦特性等，對于加工件的質量具有重要的影響。

針對上述設計要求，東佑達公司的精密運動型toyo滑臺采取了立式布局設計，即由一個直線運動模組帶動工件實現Y方向的運動，X方向的運動同樣通過直線運動模組實現，Z方向的直線運動模組與X方向的直線運動模組相疊加構成聯動模組，Z向負載平臺帶動執行部件做豎直方向上的運動，由此構成精密運動型toyo滑臺三個方向上的進給運動。每個直線運動模組都是由直線電機、反饋元件、直線導軌以及接近傳感器等構成，從而實現精密的微進給運動。